Whitepaper zur Statistischen Versuchsplanung

Durch das Anwenden der statistischen Versuchsplanung (DoE, Design of Experiments) lassen sich nachhaltig Prozesse bzw. Produkte optimieren und dies mit einem im Vergleich zu klassischen Methoden reduzierten Einsatz von Ressourcen.

Mit der statistischen Versuchsplanung ist es zum Beispiel möglich:

• festzustellen, welche der zahlreichen Einflussfaktoren sich wirklich auf die Qualität eines Produktes auswirken
• festzustellen, wie sich die Einflussfaktoren gegenseitig beeinflussen (Wechselwirkungen)
• Prozesseinstellungen zu definieren, die einen Prozess robust gegenüber Störungen werden lassen
• die bestmögliche Einstellung für mehrere, teilweise entgegenläufige Zielgrößen zu finden (Qualität, Kosten, …)
• durch dynamische Ansätze den Versuchsaufwand zu reduzieren

Das Whitepaper beschreibt, wie durch Einsetzen der DoE ein gesamter Fertigungsprozess Schritt für Schritt optimiert wird. Dies wird am praxisnahen Beispiel der Produktion von Wafern detailliert erläutert. Dabei werden auch Tücken aufgezeigt, die sukzessive gelöst werden.